im Grunde hast du das Script doch schon. Das Onclick Event wird ja auch ausgeführt wenn man eine Checkbox deaktiviert.
Das heist du speicherst wenn auf eine Überschrift checkbox geklickt wurde deren Wert.
HTML-Quelltext
1:
isHeadChecked = evO.checked;
und anstatt die Unter-Checkboxen grundsätzlich checked = true zu setzen, nimmst du den gespeicherten Wert von der Überschriften Checkbox.